高純氦氣系統(tǒng)的難點不在介質危險性，而在泄漏率控制與供氣穩(wěn)定。本文從供氣模式、接口最小充分配置、密封與裝配質量、管線應力與振動、以及峰值流量與切換窗口反推緩沖容積等角度，給出可落地的工程清單，并強調清潔干燥、置換驗證與取樣路徑的閉環(huán)控制，幫助降低氦氣損耗、提升切換穩(wěn)壓能力與長期運行可靠性。
2026-02-13 admin
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